- Housing Leak Test đánh giá ranh giới kín của vỏ hộp lọc
- PAO Test tập trung vào HEPA sau khi lắp đặt
- Hai phép thử kiểm tra các vị trí khác nhau
- Tín hiệu đo và cách đọc kết quả cũng khác nhau
- Thời điểm thực hiện cũng khác nhau
- BIBO có thể đạt một phép thử nhưng chưa đạt phép còn lại
- Giải pháp BIBO tại Vietnam Cleanroom
- Kết luận
- FAQs
Housing Leak Test đánh giá ranh giới kín của vỏ hộp lọc
Housing Leak Test tập trung vào phần vỏ bao quanh hệ lọc. Phạm vi thường gồm thân housing, mối hàn, cửa bảo trì, gioăng, điểm xuyên kỹ thuật và các mối nối nằm trong thể tích thử.
Trong quá trình kiểm tra, housing được đưa tới trạng thái áp suất xác định. Mức suy giảm áp theo thời gian hoặc lượng khí bổ sung để duy trì áp phản ánh mức rò của toàn bộ ranh giới kín.
Phương pháp này đặc biệt phù hợp để phát hiện sai lệch ở các kết cấu cố định và điểm tiếp giáp. Một khe nhỏ trên mối hàn, gioăng cửa hoặc đầu nối kỹ thuật đều có thể làm thể tích thử mất áp dù hệ lọc bên trong chưa tham gia vào phép đánh giá.
Housing Leak Test trả lời câu hỏi: vỏ hộp lọc có duy trì được ranh giới kín áp theo yêu cầu thiết kế hay không?
PAO Test tập trung vào HEPA sau khi lắp đặt
PAO Test sử dụng aerosol PAO làm chất thử để đánh giá tính toàn vẹn của HEPA và vùng tiếp giáp giữa bộ lọc với khung lắp.
Aerosol được đưa vào phía trước lọc – upstream – để tạo nồng độ thử trên dòng khí đi vào HEPA. Phía sau lọc – downstream – đầu dò quét bề mặt HEPA, chu vi bộ lọc và vùng làm kín nhằm phát hiện vị trí aerosol xuyên qua bất thường.
Điểm rò có thể nằm trên vật liệu lọc, mép HEPA hoặc vùng tiếp xúc giữa bộ lọc và cơ cấu giữ. Một housing kín hoàn toàn vẫn có thể xuất hiện sai lệch tại các vị trí này nếu filter bị tổn thương hoặc lắp chưa đồng đều.
PAO Test trả lời câu hỏi: HEPA và vùng lắp lọc có duy trì tính toàn vẹn trong trạng thái lắp đặt thực tế hay không?
Hai phép thử kiểm tra các vị trí khác nhau
Sự khác biệt trở nên rõ nhất khi nhìn vào phạm vi đánh giá.
| Hạng mục | Housing Leak Test | PAO Test |
|---|---|---|
| Thân vỏ housing | Trọng tâm kiểm tra | Không phải trọng tâm |
| Mối hàn | Trọng tâm kiểm tra | Không phải trọng tâm |
| Cửa bảo trì | Trọng tâm kiểm tra | Không phải trọng tâm |
| Gioăng cửa | Trọng tâm kiểm tra | Không phải trọng tâm |
| Điểm xuyên kỹ thuật | Trọng tâm kiểm tra | Không phải trọng tâm |
| Bề mặt HEPA | Không phải trọng tâm | Trọng tâm kiểm tra |
| Chu vi HEPA | Không phải trọng tâm | Trọng tâm kiểm tra |
| Vùng làm kín giữa HEPA và khung | Không phải trọng tâm | Trọng tâm kiểm tra |
| Khung lắp bộ lọc | Liên quan khi thuộc ranh giới housing | Liên quan trực tiếp đến độ kín filter |
Có thể hình dung BIBO gồm hai ranh giới chính. Housing bao kín toàn bộ cụm lọc, còn HEPA cùng vùng làm kín kiểm soát dòng khí đi xuyên qua hệ lọc.
Hai phép thử tương ứng với hai ranh giới này và tạo ra các nhóm dữ liệu riêng biệt.
Tín hiệu đo và cách đọc kết quả cũng khác nhau
Housing Leak Test chủ yếu làm việc với áp suất và mức rò khí. Kết quả phản ánh khả năng giữ áp của thể tích thử trong một khoảng thời gian hoặc lượng khí bổ sung để duy trì trạng thái áp đã xác định.
PAO Test lại dựa trên nồng độ aerosol trước và sau HEPA. Khi đầu dò phía sau lọc ghi nhận tín hiệu tăng tại một vị trí, khu vực đó được khoanh vùng để kiểm tra vật liệu lọc, vùng làm kín hoặc cơ cấu lắp HEPA.
Hai phép thử tạo dữ liệu chẩn đoán theo hai hướng:
- Housing Leak Test: xác định sai lệch trên kết cấu bao kín.
- PAO Test: xác định sai lệch trên HEPA và vùng lắp bộ lọc.
Kết quả chỉ phản ánh đúng trạng thái hệ thống khi được đọc theo phạm vi của từng phép thử.
Thời điểm thực hiện cũng khác nhau
Housing Leak Test thường phù hợp ở giai đoạn chế tạo, FAT, SAT hoặc sau những can thiệp làm thay đổi ranh giới kín như sửa mối hàn, thay cửa bảo trì, bổ sung điểm xuyên hoặc cải tạo housing.
PAO Test gắn trực tiếp với trạng thái của HEPA. Phép thử thường được thực hiện sau khi lắp bộ lọc mới, sau thay HEPA hoặc tại các mốc kiểm tra theo kế hoạch vận hành của hệ thống.
Xác nhận housing trước giúp tạo một ranh giới thiết bị ổn định. Sau đó, PAO Test tập trung vào lớp lọc nằm bên trong ranh giới này.
Mỗi phép thử gắn với một thành phần và thời điểm khác nhau trong vòng đời của hệ BIBO.
BIBO có thể đạt một phép thử nhưng chưa đạt phép còn lại
Một housing duy trì độ kín tốt vẫn có khả năng xuất hiện rò tại vùng làm kín của HEPA nếu bộ lọc lắp lệch, vật liệu lọc bị tổn thương hoặc lực ép trên khung chưa đồng đều.
Ở chiều ngược lại, HEPA có thể đạt PAO Test trong khi cửa bảo trì, điểm xuyên hoặc mối hàn trên housing tồn tại khe rò.
Trường hợp này xuất phát từ việc hai phép thử đánh giá hai lớp containment độc lập trong cùng thiết bị. Housing kiểm soát ranh giới bên ngoài, còn HEPA kiểm soát đường khí đi qua bộ lọc.
Xác nhận đồng thời độ kín housing và tính toàn vẹn HEPA tạo góc nhìn đầy đủ hơn về trạng thái containment của BIBO.
Giải pháp BIBO tại Vietnam Cleanroom
Vietnam Cleanroom thiết kế và cung cấp BIBO Housing theo cấu hình lọc, lưu lượng, áp suất vận hành và yêu cầu containment của từng dự án.
Tùy phạm vi nghiệm thu, hệ thống có thể được bố trí để hỗ trợ kiểm tra độ kín housing, PAO Test, điểm bơm aerosol và điểm lấy mẫu. Việc xác định các vị trí kiểm tra ngay từ giai đoạn thiết kế giúp quá trình FAT, SAT và kiểm tra sau thay lọc thuận lợi hơn.

Kết luận
Housing Leak Test đánh giá độ kín của vỏ hộp lọc, còn PAO Test đánh giá tính toàn vẹn của HEPA và vùng lắp bộ lọc.
Khác biệt nằm ở đối tượng kiểm tra, vị trí đo, tín hiệu đánh giá và thời điểm thực hiện. Hai phép thử bổ sung cho nhau, tạo dữ liệu riêng cho housing và hệ HEPA trong toàn bộ cấu trúc containment của BIBO.
FAQs
Housing Leak Test có sử dụng PAO không?
Housing Leak Test chủ yếu sử dụng dữ liệu áp suất hoặc mức rò khí. PAO được sử dụng trong phép kiểm tra tính toàn vẹn của HEPA sau lắp đặt.
PAO Test có phát hiện rò tại cửa bảo trì BIBO không?
PAO Test tập trung vào HEPA và vùng lắp bộ lọc. Độ kín cửa bảo trì thuộc phạm vi đánh giá của Housing Leak Test.
Phép thử nào thường được thực hiện trước?
Độ kín housing thường được xác nhận trước để tạo ranh giới thiết bị ổn định, sau đó HEPA được kiểm tra ở trạng thái lắp đặt hoàn chỉnh.
Sau khi thay HEPA có phải lặp lại Housing Leak Test?
Thay HEPA tác động trực tiếp đến bộ lọc và vùng làm kín của filter. Housing Leak Test được xem xét lại khi quá trình bảo trì hoặc cải tạo tác động đến thân vỏ, cửa, gioăng hoặc các điểm xuyên của housing.






