Điều kiện trước khi thử

Bộ lọc được lắp hoàn chỉnh, cơ cấu khóa đúng hành trình; quạt và van điều tiết duy trì lưu lượng thử quy định. Mã lọc, chênh áp và trạng thái hệ thống được ghi nhận.

Với tuyến khí nguy hại, việc đưa aerosol và lấy mẫu phải giữ ranh giới containment. Các điểm nối đo được kiểm tra độ kín; thiết bị thử có hiệu chuẩn phù hợp.

Kiểm soát aerosol phía trước lọc

Nồng độ aerosol upstream cần đủ cho độ nhạy phép thử và phân bố đồng đều trên mặt lọc. Nếu hạt thử tập trung ở một phía, kết quả tại các vùng còn lại có thể thiếu tin cậy.

Kỹ thuật viên kiểm tra nồng độ tham chiếu trước và trong khi quét. Với aerosol photometer, giá trị upstream làm mốc 100% để tính tỷ lệ xuyên lọt phía sau lọc. Loại aerosol phải phù hợp quy trình cơ sở.

Phạm vi quét tại vị trí lắp

Đầu dò quét toàn bộ mặt vật liệu lọc, mép media–khung, chu vi seal và mối nối khung giữ lọc. Các lượt quét chồng mép, khoảng cách và tốc độ được duy trì theo quy trình để tránh bỏ sót điểm rò.

Trong BIBO, khả năng tiếp cận phía sau HEPA cần được tính từ thiết kế. Nếu không thể quét trực tiếp, phương án thử khác phải có căn cứ kỹ thuật, phù hợp tiêu chuẩn áp dụng và được chấp thuận.

Ngưỡng rò được chấp nhận

Theo phương pháp quét bằng aerosol photometer của ISO 14644-3:2019, giới hạn tham chiếu dựa trên hiệu suất tích hợp tại MPPS:

Cấp lọc Giới hạn rò khi quét
HEPA H14 (hiệu suất MPPS từ 99,995%) Điểm rò vượt 0,01% nồng độ upstream được coi là vượt giới hạn
HEPA H13 (hiệu suất MPPS từ 99,95% đến dưới 99,995%) Điểm rò vượt 0,1% nồng độ upstream được coi là vượt giới hạn

Giá trị áp dụng được xác nhận trong hồ sơ nghiệm thu. Với máy đếm hạt, ngưỡng số đếm và bước đo xác nhận tuân theo phương pháp tương ứng. Tất cả vị trí thuộc phạm vi thử phải đáp ứng tiêu chí đã phê duyệt.

Xử lý khi phát hiện rò

Khi đầu dò ghi nhận tín hiệu vượt giới hạn, người thử đo xác nhận và đánh dấu vị trí trên sơ đồ. Đường rò có thể nằm ở vật liệu lọc, đường keo, gel seal hoặc điểm tiếp xúc với housing.

Việc sửa chữa hoặc thay lọc tuân theo hướng dẫn nhà sản xuất và quy trình an toàn. Sau xử lý, tiến hành thử lại trước khi bàn giao.

Hồ sơ và thời điểm thử lại

Biên bản ghi mã housing, mã lọc, lưu lượng, aerosol, nồng độ upstream, thiết bị đo, vùng quét, kết quả lớn nhất và vị trí đã xử lý. Hồ sơ thể hiện rõ phương pháp, giới hạn và người xác nhận.

Ngoài nghiệm thu ban đầu, thử rò được thực hiện sau thay lọc, can thiệp vào đường làm kín hoặc theo lịch thẩm định phù hợp mức độ rủi ro.

Giải pháp BIBO tại Vietnam Cleanroom

Với tuyến khí yêu cầu kiểm soát phát tán, chúng tôi xem khả năng thử rò tại chỗ là tiêu chí lựa chọn housing. Cấu hình BIBO LENGE sử dụng HEPA H14 Gel Seal và cơ cấu khóa bên trong được đối chiếu với lưu lượng, vị trí lắp đặt và phương án kiểm chứng của từng dự án.

Điểm đưa aerosol, vị trí lấy mẫu downstream và giới hạn chấp nhận được xác định theo cấu hình cụ thể, nhằm bảo đảm nghiệm thu phù hợp yêu cầu containment.

Kết luận

Chấp nhận HEPA tại vị trí lắp đặt dựa trên phép thử hợp lệ, phạm vi kiểm tra đầy đủ và giới hạn rò xác định trước. Hồ sơ kết quả là căn cứ cho bảo trì và kiểm tra định kỳ.

FAQs

1. Khi nào cần thử rò HEPA tại vị trí lắp đặt?

Phép thử được thực hiện khi nghiệm thu ban đầu, sau thay lọc, sau can thiệp ảnh hưởng đường làm kín và theo chu kỳ kiểm tra đã phê duyệt.

2. Nồng độ aerosol upstream không ổn định được xử lý thế nào?

Cần kiểm tra máy tạo aerosol, vị trí đưa hạt thử và mức độ hòa trộn trong dòng khí. Phép quét chỉ tiếp tục khi điều kiện thử đạt yêu cầu.

3. BIBO không có khả năng quét toàn bộ mặt lọc thì sao?

Phương án kiểm tra thay thế cần được đánh giá theo mục tiêu containment và tiêu chuẩn áp dụng. Kết quả đo rò tổng thể không tự động thay thế yêu cầu quét rò cục bộ.

4. Khi phát hiện rò tại gel seal, cần xử lý thế nào?

Kiểm tra vị trí lắp khung, tình trạng gel và cơ cấu khóa theo hướng dẫn nhà sản xuất. Sau xử lý phải thử lại vùng liên quan.

5. Chênh áp ổn định có đủ để chấp nhận bộ lọc HEPA?

Chênh áp phản ánh trở lực vận hành. Quyết định chấp nhận độ kín dựa trên kết quả thử rò phù hợp.